Для литографии. У олова пик в спектре излучения в 13.5нм. Вот его и палим промышленным лазеров превращая в плазму. Есть альтернативный источние, с электро разрядом и тоже с оловом....
Андрей, я с твоих постов понял следующее. Кремневая шайба лежит на столике с зеркалами, столик подвешен в магнитном поле. Далее никаких фоторезистов как было раньше на уровнях 1-2 мкм, уже нет. Пластина покрыта алюминием, и лазер сразу по алюминию формирует топологию. Хотя не понятно как тогда формируются сами транзисторные структуры, легирование то все равно надо делать. И как собственно идет прожиг алюминия, т.е что движется столик в магнитном поле или идет перемещение луча лазера??? Что не так?
Андрей, я с твоих постов понял следующее. Кремневая шайба лежит на столике с зеркалами, столик подвешен в магнитном поле. Далее никаких фоторезистов как было раньше на уровнях 1-2 мкм, уже нет. Пластина покрыта алюминием, и лазер сразу по алюминию формирует топологию. Хотя не понятно как тогда формируются сами транзисторные структуры, легирование то все равно надо делать. И как собственно идет прожиг алюминия, т.е что движется столик в магнитном поле или идет перемещение луча лазера??? Что не так?
нет, нет. Всё как и раньше - масковая литография. Только тип прибора - сканнер, а не степпер, но это уже последние лет 10. Движется и столик и маска, засвечиваются полоской луча. Сейчас просто длина волны короткая. Почти рентген. Ну и с ним сложности есть. Начиная с источника (надо ватт 100-250 для промышлености на длине волны 13.5 нм), кончая тем что этот "свет" не просто фокусировать. Да а фоторезист нужен совсем другой. Вообщем клиенты новые фабрики строят под эти машины.... А ионный пучёк (или как он там по русски), это конкурентная технология. Согласно нашим аналистам - бесперспективная для промышлинности ввиду низкой производительности. Единичные экземпляры можно делать и ей. Без маски. Её тоже в голландии продвигают. И какая-то российская контора туда вложилась.
Теперь все ясно, спасибо! Т.е традиционная фотолитография осталась пока. Просто ранее фоторезист засвечивали сфокусированным пучком электронов , тат называемая электронофотолитография, а у ваших машинах, засветка идет лучем лазера, ну и фоторезисты другие соответственно я так думаю.
Вы не можете начинать темы Вы не можете отвечать на сообщения Вы не можете редактировать свои сообщения Вы не можете удалять свои сообщения Вы не можете добавлять вложения
Быстрый переход:
